장비소개

입체 레이저 현미경

2019.11.22
입체레이저.jpg

장비개요
- 원리/용도 : 레이저 및 백색 광원을 이용하여 시료의 표면을 스캔하여 높은 수평 분해능의 화상을 취득함으로써 시료 표면 관찰과 3D 형상 측정을 구현하는 장비
- 도입 목적 : 유기도막 및 재료의 표면에 대한 특성(거칠기, 조도, 형상)을 평가하는 장비로 심도가 깊고 원하는 부위를 비파괴 상태로 측정하며 측정대상 조건에 제한이 없는 필수장비


주요제원
Z Axis resolution : 5nm
배율 : 200x ~ 28,800x
정확도 : 측정값의 ±2%
파장 : 적색 반도체 레이저 661nm
광원 : 레이저 및 백색 confocal 기능 포함
측정범위 : Max. 50mm