∙ 장비명(국문/영문) : 환경주사전자현미경 (E-SEM: Environmental-Scanning Electron Microscope)

∙ 장비구분 : 환경주사전자현미경 시스템

∙ 제조사 : Thermo Fisher Scientific(FEI) (USA)

∙ 모델명 : Quattro S

∙ 도입(구축)일자 : 2019. 05

∙ 용도 

 - 다양한 진공상태(6e-4~4,000Pa)와 극한 환경에서의 (-190~1,400℃) 재료 및 도막의 특성 평가, 분석

∙ 주요사양 

 - Image Resolution

   ∙ High vacuum : 1.0nm at 30kV (SE) / 3.0nm at 1kV (SE)

   ∙ Low vacuum : 3.0nm at 30kv (SE)

 - In situ analysis (Cryogenic stage : -190°C, Heating stage : +1,400°C), EDS, EBSD

 - Stage : X=110mm / Y=110mm / Z=65mm / R=360°

∙ 원리

  -

∙ 구성내용

  -

∙ 사진 

∙ 이용료 안내 : 원/시간​