∙ 장비명(국문/영문) : 전기화학스캐닝 시스템(I) (Scanning Electrochemical Microscope System)

∙ 장비구분 : 도막성능 평가 시스템

∙ 제조사 : 미정

∙ 모델명 : 미정

∙ 도입(구축)일자 : (2019. 08 예정)

∙ 용도 

 - 도막의 직류 저항, 도막과 금속 사이의 변화, 금속 표면의 전처리, 도막의 저항, 커패시턴스 측정으로 도막의 수명 예측 및 고장 원인 파악

∙ 주요사양 

 - Scan motor resolution : 9.76 nm

 - Max. scan speed : 10 mm/s

 - Piezo positioning resolution : 0.09nm calculated (20-bit DAC on 100µm)

 - Positioning system : 확장된 이동거리를 제공하는 초고속 스캐닝 스테이지

 - SKP(Scanning Kelvin Probe) : 표면 전위 및 지형 측정

 - SVP(Scanning Vibrating Probe) : 국부적인 전기화학적 반응 측정

 - LEIS(Localized Electrochemical Impedance Spectroscopy) : 국부 임피던스 측정

∙ 원리

  -

∙ 구성내용

  -

∙ 사진 

∙ 이용료 안내 : 원/시간​